XY-Positioniertisch EZ-0715

motorisiert2-AchsPräzision

Der EZ-0715 Gantry Stage ist für hochpräzise Anwendungen konzipiert. Inkrementale Messsysteme (LIP6 G0) und eine optimierte Konstruktion ermöglichen eine Positionier- genauigkeit der Einzelachsen von ± 250 nm bei einer Wiederholgenauigkeit von ± 25 nm. Durch den vakuumvorgespannten Schlitten und die optimierte Massenverteilung wird eine hohe Steifigkeit auf kleinstem Bauraum erreicht. Eisenlose Motoren ermöglichen eine Beschleunigung von bis zu 10 m/s2 und eine Verfahrgeschwindigkeit von bis zu 1 m/s. Die Endlagenerkennung erfolgt durch induktive Sensoren. Die Schlitten werden separat, über symmetrisch angebrachte Schleppketten, mit Energie versorgt. Das Maschinenbett des Gantry Stage ist aus Granit. Beide Achsen lassen sich kundenspezifisch adaptieren. Das XY-System ist um eine Z- und/oder C-Achse erweiterbar.