Segmentschütz BGV

pneumatischAluminiumPumpen

Bei den BGV-Schieberventilen handelt es sich um Faltenbalg-Schieberventile aus Edelstahl für den Einsatz in Anwendungen, die hohe Dichtheit und minimalen Kohlenwasserstoffgehalt im Vakuumsystem erfordern. Obwohl die BGV-Schieberventile in erster Linie zur Isolierung von Pumpen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden, eignen sie sich auch ideal für andere Anwendungen, bei denen eine 1-bar-Differenz beim Öffnen erwünscht ist. Sie sind für den Einsatz im Druckbereich von 1,2 bar absolut bis 1 x 10‑8 mbar (1,2 x 105 bis 1 x 10‑6 Pa) ausgelegt. BGV-Schieberventile halten 1,2 bar absolut in beiden Richtungen stand, sodass die Vakuumleitung über der Pumpe bei geschlossenem Ventil entlüftet werden kann. Die BGV-Schieberventile haben an der Seite eine optische Anzeige für die Schieberstellung, sodass die Öffnungsstellung zu erkennen ist. Für 1,2 bar absolut in beiden Richtungen. Keine Probleme durch Neustart, da die Pumpe bei der Wartung eingeschaltet bleibt. Robuste Edelstahlkonstruktion Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen Pneumatisch, magnetgesteuert oder vorverdrahtet Vorkonfigurierte, einfache Plug-and-Play-Lösung Einfacher fettfreier Dichtmechanismus zum Schutz vor Schäden durch Partikel in staubbelasteten Prozessen