Beschleunigte Integration und verbesserter Systembetrieb
On-board Vakuumpumpen CTI-Cryogenics von Edwards beschleunigen die Integration und verbessern den Systembetrieb. Diese Pumpen dienen weltweit als Maß für Zuverlässigkeit und Leistung.
Die On-board Kryopumpen sorgen für eine herausragende Betriebszeit und gleichbleibende Leistung durch vollständig integrierte Steuerung und unterstützende Peripheriegeräte, um die Gesamtproduktivität und Betriebszeit der Werkzeuge zu erhöhen.
Merkmale
Die Fast Regen™-Fähigkeit erweitert die Leistung der Kryopumpe zwischen den Regenerationen
Gleichzeitige Regenerationsfähigkeit wird durch die Vernetzung Ihrer Kryopumpen ermöglicht, wodurch sich die Regeneration des Gesamtsystems beschleunigt.
Integrierte Mikroprozessorsteuerung zur Leistungssteigerung, Durchführung von Diagnoseroutinen und Bereitstellung von Kommunikationsfunktionen
Ausgereifte Software und einfach zu bedienende grafische Benutzeroberflächen, um Leistung und Betrieb deutlich zu verbessern.