Das perfekte Zusammenspiel aus hoher Leistung und Zugänglichkeit
Unser Sortiment an Restgasanalysatoren umfasst drei Varianten. Ganz gleich, für welche Variante Sie sich entscheiden, sie alle sind einfach und effektiv zu bedienen und bieten Ihnen den Komfort eines leistungsstarken und effizienten RGA.
Einzigartige Vorteile
Gesamtdruckmessung
für eine umfassende Prozesssteuerung
Doppel-Heizfaden
für höchste Zuverlässigkeit und Betriebszeit
Integriertes Display
für grundlegende Messungen ohne PC
Vom Kunden austauschbare Bauteile
Entgasungsfunktion
Schutz vor Ionenquelle und EM
Alle RGAs sind mit einer speziellen und benutzerfreundlichen Software ausgestattet
Sie ermöglicht es Ihnen, von Ihrem Laptop aus Ihren Prozess in Echtzeit zu verfolgen und detaillierte Analysen von bis zu 16 verschiedenen Einheiten durchzuführen.
Zur schnellen Übersicht sind die Einheiten jeweils mit einem eigenen Display versehen, auf dem sich die Hauptgastypen sowie der Gesamtdruck des Systems ablesen lassen, ohne dass ein Laptop angeschlossen werden muss.
RGAs analysieren Gase und deren Zusammensetzung, dies ist erforderlich für:
Lecksuche und -erkennung
Finden und Identifizieren von Verunreinigungen
Prüfen der Gasreinheit
Produkt-/Prozessqualitätssicherung
Prozess- und Gerätediagnose und -steuerung
Optimieren von Prozessleistung und Ertrag
Die perfekte Lösung in einer Vielzahl von Anwendungen:
Halbleiterprozesse
Dünnfilm und Anzeige
Vakuumwärmebehandlung
Vakuumgefriertrocknung
Forschung und Entwicklung
Hochenergiephysik