Wälzkolben-Vakuumpumpe iXM

trockeneinstufigGas

Umweltfreundlicher und zuverlässiger mit geringeren Betriebskosten Unsere innovative Auswahl an trockenlaufenden Pumpen liefert Ihnen modernste Technologie, die darauf ausgelegt ist, Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigung zu verbessern. Bei der Entwicklung jeder Baureihe wurde darauf geachtet, dass die Pumpen Vorteile bei der Umweltleistung, aber auch Zuverlässigkeit unter rauen Bedingungen sowie Agilität bei leichten Anwendungen bieten. Die trockenlaufenden Pumpen der Edwards iXM-Baureihe mit geringem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen bei Ihren wichtigsten Anwendungen bringen: Sie glänzen mit erhöhter Betriebszeit, verringerten Umweltauswirkungen und Kostenvorteilen. Der energieeffiziente Wälzkolbenmechanismus kann den benötigten Eingangsstrom um bis zu 60 % reduzieren, dadurch verringern sich Umweltbelastung und Betriebskosten erheblich. Die Gasbarrieretechnologie und die Verbesserung des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als bei unserer vorherigen Baureihe. Fortschrittliches Pulverhandling sorgt für maximale Zuverlässigkeit und eine längere Lebensdauer der Pumpe bei mehrschichtigen Ätzprozessen. Reduzierter Stromverbrauch bei CVD-Prozessen Die kompakte und leichte Bauweise, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, bietet Ihnen mehr Vielseitigkeit. Die iXM-Baureihe ist mit XCEDE-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit erhältlich.