Aluminium-Heizplatte

Präzision

Unter Verwendung modernster Heiztechnik fertigt Durex Präzisionsguss-Backplatten speziell für die Halbleiterbearbeitung von 200mm, 300mm und 450mm Wafern. Die eingegossenen Plattenheizkörper sind aus reinem Aluminium (99,7%) gegossen, um maximale Betriebstemperaturen von 450°C (842°F) bei minimalem Risiko einer Prozesskontamination zu gewährleisten. Der Gießprozess wird so gesteuert, dass Defekte an der bearbeiteten Oberfläche oder am Gusskörper, die durch Porosität verursacht würden, beseitigt werden. Ein mineralisoliertes Heizelement ist über das gesamte Gussteil verteilt, um eine Oberflächentemperaturgleichmäßigkeit von ± 1% oder besser der Prozessbetriebstemperatur zu erreichen. Eine verfügbare hartanodisierte Oberfläche bietet eine abriebfeste dielektrische Barriere auf der Arbeitsfläche des eingegossenen Backplattenheizers.