XYZ-Tisch

linearpiezoelektrisch3-Achs

3 Mittellinie Stadium für Vakuum Als einer von Kunden DSMS eine kundenspezifische dreiachsige Navigationsanlage erforderte, setzte DSM den Biegung-gegründeten Entwurf seiner flextensional piezo Auslöser wirksam ein, um unabhängige x-, y-und z-Stadien zu verursachen. Das resultierende X und das Y inszeniert jedes liefern 200 Mikrons des Spielraums, und die z-Mittellinie hat einen Anschlag von 500 Mikrons. Das ursprüngliche Stadium war für Vakuumkompatibilität bestimmt und wurde mit benchtop Modellen VF DSMS des linearen piezo Verstärkers versehen. Der grundlegende Entwurf der Stadiumssysteme ist zu den kleineren/größeren Versetzungsfähigkeiten ersteigbar. Wie eine Folge, die zum ursprünglichen, offenen Regelkreis- XYZ System oben, Kunde DSMS lieferbar ist, Regelfähigkeit für die x-und y-Äxte forderte. DSM enthielt kapazitive Prüfspitzen und benutzte lineare Servoverstärker SA-100, um allein stehende Servosteuerung zur Verfügung zu stellen. Eine 24 Analogeingabe des Bits nimmt das Positionszielsignal an, und digitales Input/Output stellt Markierungsfahnen für "Instrecke" und Datenerfassungauslöser zur Verfügung.