Z-Nanopositioniertisch Model ZSA-1000C

vertikalpiezoelektrisch1-Achs

Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische Design fördert die Parallelität in der Abtriebsbewegung bei minimalem Roll- und Kippaufwand sowie die dynamische Reaktionsfähigkeit für hervorragende Positionsstabilität und Kontrolle. Der Tisch kann mit dem SA-500 von DSM zur Regelung mit einer hochauflösenden kapazitiven Sonde kombiniert werden, um eine Positionsstabilität von 20 nm und sehr stabile Geschwindigkeitsprofile über bestimmte Scanbereiche zu gewährleisten. - Open-Loop-Regelung: 1050 Mikrometer ± 10% - Geschlossener Regelkreis: 1000 Mikron ± 10% - Closed-Loop-Auflösung: 20 Nanometer typisch Steifigkeit: 0,4 N/mikron ± 10% - Linearität: 0,12% typisch - Auslauf (Ɵх, Ɵу): <100 Mikroradius typisch - Unbelastete Resonanzfrequenz: 200 Hz ± 10% - Resonanzfrequenz @100g: 150 Hz ± 10% 10% - Druck-/Zugkraftkapazität: 75/150 N Max - Tragfähigkeit: 75 N Max - Seitenkraft: 10 N max - Elektrische Kapazität: 30 Mikro-Faraden ± 10% - Breite x Länge: 62,5 x 125 mm - Höhe: 25,1 ± 0,1 mm - Masse: 1 Kilogramm ± 10% - Material: Rostfreier Stahl - Kabellänge: 1,5 Meter Die Struktur des ZSA-1000C ermöglicht den Einsatz einer Vielzahl von Wegsensoren, einschließlich kapazitiver Sonden (Standard) für eine echte Nanopositionierung. Der Servoverstärker SA-500 von DSM bietet eine eigenständige Regelung mit serieller Kommunikation, analoger oder digitaler Rückmeldung und digitaler I/O für zusätzliche Steuerungs- und Kommunikationsmöglichkeiten.