Die 10,5 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Kleinserienfertigung, Analytik (REM, TEM), Medizintechnik, Sterilisieren, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Archäologie, Textiltechnik, Kunststofftechnik
Gehäuse
B 425 mm, H 275 mm, T 450 mm
B 525 mm, H 257 mm, T 450 mm
Vakuumkammern
aus Glas (Borosilikat)
∅ 211 mm, L 300 mm
Beladung
Warenträger: Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas
Kammmervolumen
ca. 10,5 Liter
Gaszuführung
2 Gaskanäle über Nadelventil
MFC
Generator
40 kHz/200 W
13,56 MHz/300W
Vakuumpumpe
Saugleistung: min. 3 m3/h
Teile-Aufnahme
1 St. Warenträger
Steuerungen
Manuell
PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
Drehschalter