Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Tetra 320R setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von ca. 320 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Serienfertigungen / Automation zu bedienen.
Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert.
Anwendungsgebiete:
VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen
Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, …
Ätzen von PTFE, Fotolack, Oxidschichten, …
Super-hydrophobe und -hydrophile Beschichtungen
Hauptmerkmale:
Standgehäuse
Vakuumkammern: Aluminium
Kammervolumen: ca. 320 Liter
Gaszufuhr: Mass Flow Controller (MFCs)
Generator Frequenzen: 80 kHz (0 - 3000 W)
Steuerungen: Full PC-Steuerung (Windows 10 IoT)
Druckmessung: Pirani, Kapazitätsmanometer
Die Tetra 320R Plasmasysteme kommen überwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik