Parylene ist die Kurzbezeichnung für die Polymergruppe der Poly(para-Xylylene). Die Polymere bestehen aus verschieden substituierten para-Xylylenen. Die Ausgangsbasis zur Beschichtung sind Dimere. Dabei handelt es sich um einen Molekülverbund, der aus zwei identischen Untereinheiten, den sogenannten Monomeren, besteht.
Eigenschaften und Vorteile:
Parylene-Beschichtungen bieten eine große Bandbreite an Vorteilen. Parylene …
sind vollkommen konform: d.h. sie passen sich auch komplexen Substrat-Konturen an wie z.B. scharfen Kanten, Bohrungen oder Sacklöchern
sind porenfrei („pinhole-free“) bereits ab Schichtdicken von ca. 0,5 µm.
sind chemisch unlöslich und beständig gegen eine Vielzahl von Chemikalien.
weisen sehr gute Barriereeigenschaften gegenüber Feuchtigkeit und Chemikalien auf.
besitzen eine hohe elektrische Durchschlagsfestigkeit.
besitzen Trockenschmiereigenschaften (niedriger Reibungskoeffizient).
sind hydrophob: Kontaktwinkel von H2O zwischen 92°und 98°
sind transparent zwischen 90 und 96 % im sichtbaren Wellenlängenbereich (typenabhängig).
sind biokompatibel: es lassen sich Parylene der Typen C und N abscheiden, die zertifiziert werden können nach USP Class VI, ISO 10993 und FDA.
Technische Daten
Beschichtungswerkstoff
Parylene N, C, D, F-VT4
Mögliche Schichtdicke
0,05 bis zu 50 Mikrometer
Abmessungen
Breite ca. 1400 mm
Tiefe ca. 700 mm
Höhe ca. 1700 mm
Kammer
Durchmesser: 310 mm
Höhe: 500 mm
Kühlfalle
Flüssigstickstoff