Die Produktionsanlage Tetra 320R mit ihren 320 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung(Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz:
Technische Daten
Schaltschrank: B 870 mm, H (mit Füßen) 1860 mm, T 1400 mm
Kammer: ∅ 640 mm, T 1000 mm
Kammervolumen: ca. 320 Liter
Gaszufuhr: 2 Gaskanäle über MFCs
Generator: 1 Stück (80 kHz/ 1000 Watt)
Steuerung: PC-Steuerung (Windows)
Teile Aufnahme: nach Kundenwunsch
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Plasmaprozesse
Reinigen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik bietet Lösungen für jede Art der Verschmutzung, für jedes Substrat und für jede Nachbehandlung. Dabei werden auch molekulare Verschmutzungsreste abgebaut.
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Aktivieren von Werkstoffen
Voraussetzung für die Haftung von Bindungspartnern beim Lackieren, Kleben, Bedrucken oder Bonden ist eine gute Benetzbarkeit der Oberfläche.
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Ätzen von Werkstoffen
Die Plasmatechnik ermöglicht anisotropes und isotropes Ätzen. Isotropes Ätzen durch chemisches Ätzen, anisotropes Ätzen durch physikalisches Ätzen.
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Beschichten von Werkstoffen
Mit Niederdruckplasmen lassen sich Werkstücke mit diversen Beschichtungen vergüten. Dazu werden gasförmige und flüssige Ausgangsstoffe in die Vakuumkammer zugeführt.