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Plasmaoberflächenbehandlungsanlage Bell Jar 35Vakuum
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Eigenschaften
- Typ
- Plasma
- Weitere Eigenschaften
- Vakuum
Beschreibung
ls Kammer wird die Plasmakammer oder Rezipient bezeichnet, in der sich das Prozessgas im Niederdruck befindet. Die Kammer ist als Druckbehälter ausgelegt. Sie besteht aus einem Werkstoff, der durch die verwendeten Prozessgase nicht geätzt wird, häufig aus Edelstahl. Für einige Prozesse muss ein Rezipient aus hochreinem Quarzglas verwendet werden.
Standard sind Kammern (Rezipienten) aus Edelstahl
Bei der Forschungsanlage Bell Jar ist die Plasmakammer eine Glocke aus hochreinem Quarzglas
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Niederdruckplasma
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