Robotisiertes System Versa

Die patentierte Versa-Cluster-Plattform von Denton Vacuum ist eine automatisierte Front-End-Option für die Großserienfertigung. Sie kann mit bis zu zwei Kassettenschleusen und sechs Beschichtungskammern oder Modulen konfiguriert werden. Ein robotergestütztes Handhabungsgerät für die Halbleiterindustrie bewegt die Substrate von den Schleusen zu den Modulen, um sie in mehreren Schichten aus verschiedenen Materialien zu beschichten, ohne das Vakuum zu unterbrechen. Die Versa ist für den Einsatz mit 200- oder 300-mm-Prozessmodulen ausgelegt. Er ist mit dem Discovery-Sputtermodul und dem Voyager-PE-CVD-System kompatibel und verfügt über spezielle Sputter-Ätzmodule und spezielle Messoptionen. Ein spezielles Vorreinigungsmodul ist ebenfalls verfügbar, ebenso wie eine Substratkonditionierung. Um die Großserienproduktion bei der Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen, läuft der Versa mit der Software ProcessPro-HV von Denton, die einen vollautomatischen Materialplaner und Rezepturmanager verwendet, um die Module zu laden und Prozessschritte über mehrere Kammern hinweg mit Genauigkeit und Effizienz auszuführen. ProcessPro-HV ist SEMI E95-konform und verfügt über eine umfassende Datenprotokollierung und Diagrammerstellung innerhalb des Tools zur Prozesssteuerung und -analyse. Der Versa ermöglicht eine größere Produktionseffizienz, um höhere Durchsatzanforderungen zu erfüllen. Es automatisiert den Beladungsprozess, so dass Sie die Effizienz maximieren können, und ist sowohl mit der Metall- als auch der Oxidabscheidung kompatibel. Die Mehrkammerkonfiguration ermöglicht es Ihnen, mehrere Schichten gleichzeitig zu beschichten, ohne das Vakuum zu unterbrechen, und Sie können Zeit sparen, indem Sie nur die Kassettenladeschleuse anstelle des gesamten Sputtermoduls entlüften.