Ionenquelle Endeavor RF

Die Endeavor-HF-Ionenquelle von Denton ist für den Betrieb ohne Glühfaden ausgelegt und verwendet ein einziges Extraktionsgitter. Da der aus der Quelle extrahierte Elektronenfluss ausreicht, um die Raumladung des Ionenstrahls zu neutralisieren und die Raumladungsüberschläge in der Kammer zu beseitigen, benötigt diese HF-Ionenquelle keinen zusätzlichen Elektronenneutralisator, wie z. B. einen Heißdraht oder eine Hohlkathode. Forschung und Herstellung von: Optische Geräte Photonik Magnetische und mikroelektronische Geräte Die Fähigkeit, Ionenarten mit spezifischer Energie, chemischer Reaktivität, Stromdichte und Flugbahn zu erzeugen und zu steuern, macht Ionenquellen zu wirksamen Werkzeugen für die Herstellung von Präzisionsschichten und -oberflächen. Verdichtung, optische Durchlässigkeit, Gleichmäßigkeit der kritischen Dicke, glatte Grenzflächen, verbesserte Haftung und vertikale Seitenwände sind einige der gewünschten Materialeigenschaften, die durch Ionenquellen bei der Dünnschichtabscheidung ermöglicht werden. Denton bietet seine intern entwickelte Ionenquelle CC-106 an. Die CC-106 ist eine Breitstrahl-Kaltkathoden-Gleichstromquelle, die für ionengestützte Abscheidungs- und Vorreinigungsprozesse unter Verwendung von Sauerstoff oder Argon entwickelt wurde. Wir bieten jetzt unsere neue filamentfreie Endeavor RF-Ionenquelle an, die derzeit für neue Systeme erhältlich ist.