Chemische PCB-Ätzmaschine Infinity PSIBE

Vakuumfür die Mikroelektronikautomatisch

Die Infinity PSIBE- und Infinity LL-Ätzsysteme bieten Hochleistungsätzen, Fräsen von kritischen Dünnfilmprofilen, Fräsen von Glanzwinkeln und mehr. Die Experten von Denton Vacuum werden mit Ihnen zusammenarbeiten, um sicherzustellen, dass Ihre Konfiguration genau auf Ihre Bedürfnisse und Spezifikationen abgestimmt ist, und Ihr System wird von unserem technischen Team umfassend unterstützt. Verbesserung der Halbleiterprozessausbeute mit Endpunktkontrolle Au-Ätzen von Verbindungshalbleitern Prozesskontrolle und Bewertung des Chipdesigns Gemusterte Ätzung Wafer-Verarbeitungsservice Das flexible, vielseitige PSIBE-Batch-System bietet eine kleine Stellfläche, die perfekt für enge Produktionsräume geeignet ist. Es wurde für Anwendungen mit niedrigem bis mittlerem Durchsatz entwickelt und ist eine perfekte Lösung für die MEMS-, Halbleiter- und Datenspeichermärkte sowie für die Bereiche Optik, Linsen, Pilotproduktion und Foundry Support. Das Vakuum-LL-(Load Lock)-Ätzsystem von Denton ist eine flexible Lösung, die für einen hohen Durchsatz bei anspruchsvollen, großvolumigen Anwendungen wie Pilotproduktion und Foundry-Support in den Bereichen Halbleiter, Datenspeicherung, MEMS und Wafer-Verarbeitung ausgelegt ist. Beide Systeme sind reinraumtauglich der Klasse 1000 (Ballsaal), ESD-konform und verfügen über eine chemische Unterstützung beim Ätzen. LL Etch kann sowohl für Einzelchips als auch für Multichips konfiguriert werden, und das PSIBE-System PSIBE ermöglicht einen kostengünstigen manuellen Probentransfer mit einer einzigen Wafer-Ladeschleuse.