Sputter-Auftragsmaschine

DünnschichtSolar

Das Infinity IBD-System liefert dichte, fehlerarme Schichten mit extrem hoher Präzision und Gleichmäßigkeit. Es bietet eine unabhängige Kontrolle über die Ionenenergien, so dass Sie exakte Dünnschichtspezifikationen mit sehr geringer Kontamination durch Abblättern erreichen können. Das Bias-Target-Sputter-Modul bietet eine hervorragende Kontrolle der Dünnschicht-Grenzflächen, ermöglicht eine unabhängige Steuerung der Ionenströme und -energien und arbeitet mit einem niedrigen Druck. Dadurch werden Verunreinigungen und Streuungen durch überlaufende Strahlen vermieden, Oberflächenbeschädigungen verhindert, eine strenge Spannungskontrolle ermöglicht und dichte, defektfreie Schichten erzeugt. Das BTS-Modul verbessert die Betriebskosten durch eine erhöhte Targetnutzung, die eine Reduzierung der Gesamttargetgröße ermöglicht. Das Systemdesign ermöglicht eine hervorragende Gleichmäßigkeit auf großen Substraten ohne Rotation. Das Modul bietet gepulstes Sputtern und eine höhere Abscheiderate im Vergleich zu anderen IBD-Plattformen. All diese einzigartigen Merkmale und Vorteile werden durch Dentons Engagement für langfristige Partnerschaft und Service unterstützt. Mit unseren Experten erhalten Sie eine äußerst zuverlässige Konfiguration, die Ihren Anforderungen und Spezifikationen entspricht und eine hohe Systembetriebszeit und Wartungsfreundlichkeit bietet. Vanadiumoxid-Mikrobolometer Präzisionsoptiken (Laser, IR-Detektoren) VCSEL-Antireflexionsbeschichtungen Hocheffiziente Solarzellen Spin-Ventile für die magnetische Aufzeichnung Brennebenen-Arrays Thermische Bildgebung Laserbarrenfacetten