Der Clean Stocker ist ein Regalbediengerät für die vorübergehende Lagerung von unfertigen Produkten im Halbleiterherstellungsprozess und für den Transport und die Lagerung von Kassetten für Flachbildschirme (FPD). Die Regalmodule sind erweiterbar, um die erforderliche Anzahl der zu lagernden Halbleiter zu erreichen, und es stehen verschiedene Lager entsprechend der Kassettengröße für jede Generation von FPD zur Verfügung. Berücksichtigt werden auch eine hohe Übertragungskapazität, die Vermeidung von Staubentwicklung, Wartbarkeit und Sicherheit.
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