Glaslinse ULE®

SilikonUVOptik

Corning® ULE® Glas (Ultra-Low Expansion Glass) 7972 ist ein Titanium-Silikatglas mit nahezu null Ausdehnungseigenschaften, die es zum Material der Wahl für einzigartige Anwendungen wie Referenzblöcke für Werkzeugmaschinen, Gitter, Referenzblöcke, Referenzspiegel für Interferometer und Teleskopspiegel gemacht haben. ULE ist eine einphasige, unterkühlte Flüssigkeit mit einem CTE-Wert von nahezu 0 ppb/K. EUV ULE 7973 wurde speziell für den Bedarf an Masken und optischen Substraten für EUVL-Anwendungen entwickelt. Die Umstellung der Lithografie von 193nm auf 13,4nm erforderte eine grundlegende Umstellung der Stepper-Optik von refraktiver zu reflektiver Optik. Bei reflektierenden Optiken sollten die Substratmaterialien rein passiv sein. Das einfallende Licht sollte von den mehrschichtigen Beschichtungen der Optik und der Fotomaske reflektiert werden, ohne dass es zu einer mechanischen oder optischen Verzerrung durch das darunter liegende Substrat kommt. Um die Verzerrung durch die winzigen Temperaturschwankungen zu minimieren und die strengen EUVL-Spezifikationen zu erfüllen, müssen die Substrate einen Wärmeausdehnungskoeffizienten (WAK) von nahezu Null und geringe WAK-Schwankungen von Spitze zu Tal (P-V) aufweisen. Die extrem niedrigen WAK-Anforderungen werden in Teilen pro Milliarde pro Grad Kelvin (ppb/K) angegeben. Die anspruchsvollen CTE-Anforderungen zwingen auch zu Verbesserungen in der Messtechnik, und Corning arbeitet weiter an der Verbesserung der Messmethoden, um die EUVL-Anforderungen zu erfüllen. Eine diskrete Anpassung der Nulldurchgangstemperatur ist möglich. TSGTM 7972 Low Expansion Glass ist das dritte Mitglied von Cornings Titansilikatglasfamilie mit geringer Ausdehnung. TSG hat einen geringeren absoluten Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE) für Anwendungen, die kein Material mit nahezu Null-Ausdehnung erfordern.