CVD-Auftragsmaschine C30SDünnschichtParylen
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Eigenschaften
- Methode
- CVD
- Art der aufgebrachten Schicht
- Dünnschicht, Parylen
Beschreibung
Ideal für Labortests und die industrielle Produktion von Kleinteilen
Vielseitiges Gerät mit möglicher Aufrüstung zur Multilayer-Konfiguration
Perfekt geeignet für:
Kleine und mittelgroße Bauteile (z. B. in der Elektronik, Medizintechnik usw.)
Wafer bis zu ø 200 mm (8 Zoll)
Gesamtabmessungen (L x B x H) - 2100 x 1370 x 2000 mm
Gewicht - 350kg
Kammergröße - ∅ 295 x 370 mm
Größe des Werkzeugs - ∅ 260 x 320 mm
Max. Werkzeugbelastung - 100kg
Dimer-Belastbarkeit - 150g
Pumpleistung - 40 m3/h
Erforderlicher Stromanschluss - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz
3 x 25A - 15kW
Parylen verarbeitbar - Typ: C, D, N, F-VT4, F-AF4
Thermisierte Kammer - Temperaturbereich - 20 - 30°C
Optionen - Kompatibel mit allen Optionen
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.