CIQTEK SEM5000X ist ein ultrahochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit einer bahnbrechenden Auflösung von 0,6 nm bei 15 kV und 1,0 nm bei 1 kV.
Dank des verbesserten Säulenentwicklungsprozesses, der „SuperTunnel“-Technologie und des hochauflösenden Objektivlinsendesigns kann SEM5000X weitere Verbesserungen bei der Auflösung der Niederspannungsbildgebung erzielen. Die Probenkammeranschlüsse sind auf 16 erweitert, und die Probenwechsel-Ladeschleuse unterstützt bis zu 8-Zoll-Wafergrößen (maximaler Durchmesser 208 mm), was die Anwendungsmöglichkeiten erheblich erweitert. Abdeckung. Die erweiterten Scanmodi und erweiterten automatisierten Funktionen sorgen für eine stärkere Leistung und ein noch optimierteres Erlebnis.