Optisches Inspektionssystem Phoenix Ultima

3D2DRaster

Phoenix Ultima, das AOI-System der neuesten Generation von CIMS, wurde für die Großserienfertigung von IC-Substraten entwickelt. Es ist in der Lage, bis zu einer Linien-/Raumbreite von 4 µm zu scannen. Die hochmoderne optische Technologie des Systems, Prisma™, wurde entwickelt, um eine flexible Lichtabdeckung mit maximalem Kontrast zu bieten, um eine hochauflösende Bilderfassung bei hoher Scangeschwindigkeit zu unterstützen. Die optimale Leistung wird durch die Kombination von scharfen, hochauflösenden Bildern mit anpassbaren Erkennungsalgorithmen erreicht. Ausgestattet mit modernster Bilderfassung und fortschrittlichen Softwarefunktionen ist die Phoenix-Produktfamilie bekannt für ihre außergewöhnliche Erkennungsleistung bei geringstmöglicher Fehlalarmrate. Phoenix Ultima wird von Spark™ unterstützt - einer innovativen, plattformübergreifenden Erkennungs-Engine. Highlights -Linearmotoren für sanfte und leise Bewegung -Robuster mechanischer Aufbau -Automatisierter Vakuumtisch -Hochleistungsfähige Bildverarbeitungs-Firmware -Computer der nächsten Generation zur Verarbeitung großer Datenmengen -schnelle und intuitive Einrichtung für neue Aufträge -Kompatibel mit AMHS-Automatisierung oder Roboter vorne/hinten Optionen -Fi - Endprüfungsoption für fertige Platten +2DM-Messtechnik - Messung der Plattenabmessungen +2CD-Messtechnik - 2D-Messung von Schaltungselementen +3DH Metrologie - 3D-Messung der Höhe von Schaltungselementen +3DP Messtechnik - 3D-Profilierung von Schaltungselementen lDI - Option für Laser-Bohrinspektion -CDB/CDBIC - Fehlerklassifizierung und virtuelle Fehlerkartierung -VVS - Virtuelles Prüfsystem