Das optische Hybrid-3D-Profilometer der Superview WT-Serie wird für die Messung von Oberflächen verschiedener Präzisionskomponenten und -materialien im Subnanometerbereich eingesetzt. Es integriert die Leistungsmerkmale von zwei hochpräzisen 3D-Messgeräten, Weißlicht-Interferometer und konfokales Mikroskop, und kann die Probenoberfläche berührungslos abtasten und dann das 3D-Oberflächenbild wiederherstellen. Bei der Messung ultraglatter und transparenter Oberflächen kann der Weißlicht-Interferometrie-Modus verwendet werden, um hochpräzise und verzerrungsfreie Bilder zu erhalten und Parameter wie die Rauheit zu analysieren. Bei der Messung grober Oberflächen mit scharfen Winkelmerkmalen können im konfokalen Mikroskopiemodus 3D-Topographiebilder mit großem Winkel rekonstruiert werden. 2D- und 3D-Parameter, die die Oberflächenqualität widerspiegeln, werden durch Datenverarbeitung und Analyse der 3D-Oberflächenbilder mit Hilfe von Software ermittelt.
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