Beschreibung
Der piezoelektrische kreuztisch XYZ200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen konfokale Mikroskopie, Maskenpositionierung, Inspektion
Verfügbare optionen
Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum
Status
Standard