ANWENDUNGEN:
Reinigung und Spülung von Wafern (Wet Bench Systems)
Erwärmung von Flow-Flashpoint-Lösungsmitteln und Säuren
Zur Verwendung mit Single-Pass- oder Umlaufsystemen
Ähnliche Verwendungszwecke wie PFA-Rohrheizungen, jedoch höhere Temperaturgrenzwerte
Prozesse, die explosive Dämpfe beinhalten
Situationen, in denen eine genaue Temperaturkontrolle kritisch ist
MERKMALE UND VORTEILE:
Der Flüssigkeitsweg hat keinen Kontakt mit den Heizelementen
Ermöglicht die sichere Erwärmung von Lösungsmitteln mit niedrigem Flammpunkt
Beheizte Medien sind in nahtlosen Rohren aus 316er Edelstahl isoliert
Die Lösungsmittelrohre sind passiviert und elektropoliert für Reinheit
Selbstentleerende Fließrohre eliminieren eingeschlossene Ablagerungen
Das Kühlrohr reduziert die Hitze schnell unter den Flammpunkt
Explosionsgeschütztes elektrisches Gehäuse nach NEMA 7
Ausgestattet mit robustem Sensor- und Schalter-Array
SPEZIFIKATIONEN:
Leistung:
6 kW Gesamt bis 8 kW Gesamt
Spannungsbereich: 208 - 480 V
Maximaler Netzstrom: 30 A pro Stromkreis
Röhre (Lösungsmittelröhre):
.750" OD (3/4") (19,1 mm)
.065" Wandung (1,7 mm)
Gesamtlänge des Prozessrohrs: 115,5" (2934 mm)
316L-Edelstahl, passiviert und elektropoliert
Maximaler Druck: 227 bar (3300 psi)
Rohrleitung (Kühlrohr):
.250" OD (1/4") (6,3 mm)
0,035" Wandstärke (0,9 mm)
Gesamtlänge des Prozessrohrs: 86,25" (2190 mm)
316L-Edelstahl
Maximaler Druck: 351 bar (5100 psi)
Gehäuse:
NEMA 7 (explosionsgeschützt)
(Klasse 1, Div. 1 und 2, Gruppen B, C und D)
Maximale Betriebstemperatur:
392°F (200°C)
Die angegebenen Temperaturen beziehen sich auf das Gehäuse in der 12-Uhr-Position;
In der 6-Uhr-Position können höhere Temperaturen möglich sein. Einzelheiten sind im Werk zu erfragen.
Sensoren:
Zwei J-Typ Thermoelemente (eingegossen)
Ein J-Typ-Thermoelement (abnehmbar)
Schnappschalter für den oberen Grenzwert (mit automatischer Rückstellung)
Verschraubungen:
Lösungsmittelrohr: Flaretek®-kompatibel oder Swagelok® VCR
Kühlungsrohr: NPT oder Swagelok® VCR
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