Wassererhitzer PUR-X 2000

LuftStrömungexplosionssicher

ANWENDUNGEN: Halbleiterwafer-Reinigungsverfahren (Wet Bench) Erwärmung von Lösungsmitteln zur Entfernung von Fotolacken DI-Wasser-Heizung für Wafer-Spülung Luft- und Stickstofferwärmung zur Wafertrocknung Erwärmung von Säuren, IPA, Piranha, NMP, etc. Für die Verwendung mit Single-Pass- oder Kreislaufsystemen MERKMALE UND VORTEILE: Der Flüssigkeitsweg hat keinen Kontakt mit den Heizelementen Das Medium ist in einem PFA (Teflon®) Durchflussrohr isoliert (hochreine Heizung) Ermöglicht die sichere Erwärmung von gefährlichen Flüssigkeiten und Gasen Das Durchflussrohr ist für die Verwendung mit vielen ätzenden Lösungsmitteln sicher Das Durchflussrohr ist vor Ort austauschbar (kein Serviceeinsatz erforderlich) Kompatibel mit Standardsteuerungen (PID, PLC, Multi-Loop, etc.) Das Gehäuse ist Teflon®-beschichtet, für maximale Sauberkeit Selbstentleerende Durchflussrohre und Heizelemente mit langer Lebensdauer SPEZIFIKATIONEN: Leistung: 5 kW Gesamt bis 7,9 kW Gesamt Spannungsbereich: 200 - 480 V Maximaler Netzstrom: 30 A pro Stromkreis Verrohrung: .375" OD (3/8") (9,52 mm) .031" Wandung (.80 mm) Gesamtlänge des Prozessrohrs: 325" (8255 mm) PFA (PerFluoroAlkoxy) / Teflon® (Standard) Hochreines PFA (optionales Upgrade) Maximaler Druck: 4,82 bar (70 psi) Gehäuse: Aluminium mit schwarzer Teflon®-Schutzbeschichtung Gehäuse: NEMA 7 (explosionsgeschützt) Maximale Betriebstemperatur: 392°F (200°C) Sensoren: Thermoelemente Typ K oder J Standard (3 Stück) 1 für Prozesssteuerung 1 für Hochgrenzwertschutz 1 für Rohrtemperaturschutz Verfügbares Zubehör: Isoliermanschetten Kompressionsverschraubungen