Fettzellen
* - 3D-Scanner mit Mikrotiefe
* - Hochgeschwindigkeits-/Berührungslose Messtechnik
* - Oberflächenanalyse
* - Nicht-transparent/transparent
Anwendungen,
* Touchpanel / Solarpanel / Wafer
* - Mikro-Elektro-Mechanisch(MEMS)
* - Leiterplatte mit hoher Dichte
* - IC-Gehäuse
* - Eine Vielzahl von Messfunktionen: Mikrostrukturkontur, Größe, Holc dcpth, Fehler Film thickncss, hcight différence, Winkel, Rauheit, Ebenheit
-Wie es funktioniert-
Weißes Licht ist kurz dimmbar -
Die besten Interferenzstreifen entstehen nur in der Fokusposition, die durch unscharfes Licht und Streulicht verursachten Interferenzen werden ausgeschlossen, und die Position des besten Interferenzstreifens wird mit der "Hochgeschwindigkeits-Flächen-CCD-Kamera" erfasst. Es ist keine Punkt-für-Punkt-Abtastung erforderlich, und der "Vertikalscanner" wird verwendet, um die Objektivlinse zur Erfassung der Höhenposition zu bewegen, so dass die 3D-Oberflächentopografie des Messobjekts reproduziert werden kann.
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