Für jede Oberfläche, bei der eine hervorragende Ebenheit von weniger als 100 Mikrometern gefordert ist, gibt es auf dem Markt optische Z-Achsen-Prüfsysteme, die einen XY-Tisch verwenden. Diese Systeme haben einen saftigen Listenpreis (über 30.000 $), vor allem, wenn die angestrebte Teilegröße größer als 12" (300 mm) ist.
Im Allgemeinen ist die Oberfläche in der Fertigung nach dem Schleifen wiederholbar gut definiert und eine 100%ige Prüfung ist nicht erforderlich. Die Anwendung einer Mehrpunkt-Ebenheitsprüfplatte mit 32 räumlich angeordneten Punkten zur Hervorhebung der bekannten maximalen Abweichung von einer perfekten Ebene ermöglicht eine viel kostengünstigere Lösung, die jedoch ein Ebenheitsergebnis von 90 % liefert. Durch die Implementierung einer berührungslosen Sensor-Multiplexing-Lösung für ein gut platziertes Sensor-Array und die Verwendung der Capacitec Bargrafx™ 16- bis 32-Punkt-Softwareanwendung können Sie Ihre Ebenheitsprofile zur Hälfte des Preises erreichen.
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