Massenspektrometer IMS 7f-Auto

Sekundärionen-Massenfür die HalbleiterindustriePMT

Vielseitiges SIMS-Tool: Referenzdetektionsempfindlichkeit mit hohem Durchsatz & Vollautomatisierung Das IMS 7f-Auto ist die neueste Version unserer erfolgreichen Produktlinie IMS xf Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS). Entwickelt für hochpräzise Element- und Isotopenanalysen mit erhöhter Benutzerfreundlichkeit und Produktivität, wurde es für anspruchsvolle Anwendungen wie Glas, Metalle, Keramik, Si-basierte, III-V- und II-VI-Geräte, Schüttgüter, Dünnschichten.... optimiert und erfüllt die Anforderungen der Industrie an eine effiziente Geräteentwicklung und Prozesskontrolle. Wichtige analytische Funktionen zur Lösung einer Vielzahl von analytischen Problemen Das IMS 7f-Auto bietet beispiellose Tiefenprofilierungsfunktionen mit hoher Tiefenauflösung und hohem Dynamikbereich. Das hochtransparente Massenspektrometer wird mit zwei reaktiven, hochdichten Ionenquellen, O2+ und Cs+, kombiniert und bietet somit eine hohe Sputterrate und ausgezeichnete Nachweisgrenzen. Ein einzigartiges optisches Design ermöglicht sowohl die direkte Ionenmikroskopie als auch die Rastermikrosondenabbildung Verbesserte Automatisierung und Betriebseffizienz Das IMS 7f-Auto ist mit einer neu gestalteten, in Reihe geschalteten Primärsäule ausgestattet, die eine einfachere und schnellere Primärstrahlabstimmung und eine optimierte Primärstrahlstromstabilität ermöglicht. Neue automatisierte Routinen minimieren bedienerbezogene Verzerrungen und verbessern die Benutzerfreundlichkeit. Eine motorisierte Lagerkammer mit automatischer Be- und Entladung der Probenhalter gewährleistet einen hohen Durchsatz durch Analyseketten und Fernbedienung.