Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen