Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD DynaMet 4V

Magnetron-Sputterfür MetallfilmVakuum

Die Maschine DynaMet V von Bühler Leybold Optics ist eine vollautomatische Vakuum-Sputtermaschine mit einem ultraschnellen Be- und Entladesystem, die zur Beschichtung dreidimensionaler Bauteile verwendet wird. Mit einer maximalen Substrattiefe von 250 mm und einer Rahmengrösse von bis zu 840 x 440 mm kann das System grosse, komplexe Formteile wie z. B. Reflektoren für Fahrzeuglampen beschichten wie kein anderes vertikales Beschichtungssystem. Das System kann für verschiedene Sputtermaterialien wie z. B. Aluminium, Chrom, Edelstahl und viele weitere eingesetzt werden – je nach Endprodukt und entsprechender Beschichtung. Für eine maximale Produktivität wurde die DynaMet V so konstruiert, dass sie sich einfach in vollautomatische Förder- und Produktionssysteme integrieren lässt. Das rotierende Träger-Bewegungssystem ermöglicht eine hohe Produktivität Im Hinblick auf die Zykluszeiten ist das rotierende Träger-Bewegungssystem das Herzstück der vertikalen Beschichtungsmaschine DynaMet V. In Verbindung mit dem schnellen ZPT-Magnetron (Zwischenpoltarget) zur Metalldeposition und den PECVD-Quellen (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) für das Aufbringen der oberen Schutzschicht können sehr schnelle Zykluszeiten erreicht werden. Für die Beschichtung eines Fahrzeuglampen-Reflektors mit einer hoch reflektierenden Aluminiumschicht und einer schützenden Deckschicht sind üblicherweise weniger als 35 Sekunden erforderlich. Die Gesamtproduktivität des Systems basiert auch auf dem hocheffizienten Vakuum-Pumpensystem der DynaMet V.