PVD-Auftragsmaschine SYRUSpro series

ionenstrahlgestützteDünnschichtfür die Optoelektronik

Die SYRUSpro Baureihe von Bühler Leybold Optics ist ein in der Industrie führendes System für die Massenproduktion optischer Beschichtungen für die Präzisionsoptik. Sie zeichnet sich vor allem durch eine hervorragende Genauigkeit und einen hohen Produktionsausstoß aus. Die Beschichtungsmaschinen der Baureihe SYRUSpro sind ideal geeignet für Anwendungen vom tiefen Ultraviolett-Spektrum (DUV) über das sichtbare Spektrum (VIS) bis hin zum Infrarot-Spektralbereich (IR). Die Vielzahl der Beschichtungen umfasst Kantenfilter (Kurz-/Langpass), UV/IR-Sperrfilter, Kerbfilter und Schmalbandpassfilter, dichroitische Farbfilter und Polarisationsstrahlteiler, AR- und HR-Beschichtungen für Laser und vieles mehr. Jede SYRUSpro wird nach den Kundenvorgaben mit einer Vielzahl von Standard-Komponenten ausgerüstet, die von Bühler Leybold Optics konstruiert wurden. Dies ermöglicht einfache Upgrades zur Erfüllung steigender Prozessanforderungen. Darüber hinaus vereint die erstklassige Prozess-Steuerung von Bühler Leybold Optics eine hohe Flexibilität bei der Programmierung mit einem Höchstmass an Automatisierung. Alle diese Merkmale tragen dazu bei, dass in der ununterbrochenen Massenproduktion von optischen Filtern sehr präzise Werte sowie ertragreiche und hohe Durchsatzzahlen erreicht werden.