Sputter-Beschichtungsmaschine GLC series H

zur Glasbeschichtung

Die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H ist eine horizontale Inline-Sputter-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Bedürfnisse der Architekturglas-Beschichtung entwickelt wurde. Mit ihrer einzigartigen Kammerkonstruktion ist die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H bestens für anspruchsvolle Schichtsysteme und flexible Produktportfolios geeignet. Zu den typischen Beschichtungen zählen Solar-Control-Beschichtungen, Antireflex-Beschichtungen sowie Single, Double und Triple Low-E Beschichtungen. Die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H ist für die Standard-Substratgrössen US und Jumbo geeignet und kann für die Beschichtung von Glasflächen in der Grösse von bis zu 3,3 m * 15,6 m konfiguriert werden. Moderne Technologie garantiert niedrige Produktionskosten Die moderne Abstandskontrolle ermöglicht einen maximalen und wirtschaftlichen Einsatz des Targetmaterials, um die Produktionskosten niedrig zu halten. Mit Doppelplanarkathoden in voller Grösse wird entweder die Standzeit für ein Targetmaterial verdoppelt oder die Flexibilität eines zweiten Materials ermöglicht. Einzigartige Gasflussführung für eine hohe Prozessqualität Die einzigartige Glasflussführung führt zu hohen reaktiven Sputter-Raten mit der niedrigsten Target-Oxidation und einem verringerten Prozessgasverbrauch. Eine aktive Gastrennung sorgt für effiktive Gastrennungsfaktoren, selbst bei kleinen Stellflächen. Die optimierte Konstruktion ermöglicht eine Verringerung der TMP-Leistung (Turbo-Molekularpumpe) im Prozess, was unmittelbar zu Energieeinsparungen führt.