Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD Atalanta

PVD durch thermisches Verdampfenfür MetallfilmVakuum

Die ATALANTA V von Bühler Leybold Optics ist eine sehr kosteneffektive und schnelle Chargen-Verdampfungsmaschine zur Vakuumbeschichtung dreidimensionaler Bauteile mit wasserabweisenden Schichten. Mit einem Wasserkontaktwinkel von ca. 115° nach der Beschichtung und 105° bis 110° nach der Abriebprüfung erfüllen und übertreffen die aufgebrachten Anti-Fingerprint-Schichten die Anforderungen der Bildschirm- und Mobilgeräteindustrie. Die zu beschichtenden Substrate werden auf zwei leicht zugängliche, drehbare Substratträger geladen, die sich an jeder der beiden Maschinentüren befinden. Die beiden Träger haben eine effektive Länge von 1500 mm und einen Nutzdurchmesser von 540 mm, woraus sich eine Beschichtungsfläche von bis zu 5 m² pro Charge ergibt. Hohe Produktivität durch eine flexible Doppeltür-Konstruktion Die Doppeltür-Konstruktion der ATALANTA V bietet eindeutige Vorteile für eine hohe Produktivität und Flexibilität in der Grossproduktion. Die Substrate können an einer Tür be-/entladen werden, während die Substrate der zweiten Tür im Prozess sind. So kann die Zeit zwischen den Chargen verkürzt werden, und auch die vor- und nachgeschaltete Produktion wird sehr viel flexibler. Der Prozess ermöglicht beispielsweise die Deposition einer SiOx-Grundschicht durch PECVD (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) und einer Anti-Fingerprint-Schicht durch thermisches Aufdampfen auf ein typisches Mobilgeräte-Display in ca. 8 Minuten.