PVD-Auftragsmaschine HELIOS series

Magnetron-SputterDünnschichtfür die Optoelektronik

Die Baureihe HELIOS von Bühler Leybold Optics ist ein flexibles System für das schnelle, präzise und vollautomatische Dünnschicht-Beschichten. Es wurde speziell für hochwertige optische Beschichtungen mit ausgefeilten Filterkonstruktionen konstruiert und entwickelt. Trotz Hochtechnologieprozessen ist die HELIOS in der Lage, einen hohen Produktionsausstoß zu erreichen. Extrem dichte, glatte, stöchiometrische und amorphe Schichten gewährleisten eine beispiellose optische Leistung. Das optische Überwachungssystem für vor-Ort-Messungen am Substrat ermöglicht eine ultimative Präzision bei der Schichtstärkenkontrolle. Herausragende Produktivität und Schichtqualität Durch die moderne PARMS-Technologie (plasmaunterstütztes reaktives Magnetron-Sputtern) wird der Auftrag dielektrischer Schichten von Metalltargets erreicht, unterstützt durch eine HF-Plasmaquelle mit hoher Depositionsrate für hohe Produktivität, was zu Spitzenprodukten mit hervorragender Präzision auf atomarer Ebene und einem hohen Ertrag führt. Bei jeder Rotation wird eine dünne sub-stöchiometrische Oxidschicht vom ausgewählten Dualmagnetron abgetragen und als eine nicht absorbierende Oxidschicht auf das Substrat übertragen. Der Abtrag des Targets findet an dem Teil des Durchmessers statt, der gerade das Sauerstoffplasma der HF-Quelle passiert. Diese Methode gewährleistet die niedrigsten Verluste und perfekt stöchiometrische Ergebnisse – selbst beim Sputtern von Metalltargets.