Magnetron-Sputter-Auftragsmaschine STARpro

DünnschichtVakuumfür die Optoelektronik

Die STARpro von Bühler Leybold Optics ist ein neues Einfachmagnetron-Beschichtungssystem, welches die Beschichtung durch reaktives Sputtern erzeugt. Die Maschine wurde für die Anwendung in der Präzisionsoptik entwickelt und ist sehr einfach zu installieren und zu bedienen. Des Weiteren erzielt die STARpro durch den Einsatz des hochwertigen optischen Überwachungssystems OMS 5100 von Bühler Leybold Optics eine punktgenaue und zuverlässige Reproduzierbarkeit über die gesamte Lebensdauer hinweg. Platzsparende, ultrakompakte Konstruktion Mit der kleinsten Standfläche unseres Produktportfolios kann die STARpro sogar in Nischen aufgestellt werden. Daher ist sie perfekt für kleinere Laborumgebungen geeignet, insbesondere in Kombination mit einer grossen Vielzahl an möglichen Beschichtungsprozessen. Prozessgeräte, die durch ihre Konfigurierbarkeit für eine beeindruckende Produktvielfalt sorgen Durch die Verwendung von Mehrfachschichten aus SiO2 und Si3N4 können Produkte wie z. B. Anti-Reflex-Beschichtungen, Bandpassfilter, Kantenfilter, dielektrische Spiegel und dichromatische Filter hergestellt werden. Eine von der Prozesskammer unabhängige Schleuse gewährleistet, dass die Substrate nicht durch Partikel verunreinigt werden. Die STARpro ermöglicht die gleichzeitige Beschichtung von maximal 4 Substraten und ist die perfekte Wahl für das schnelle Herstellen von Schicht-Prototypen und die Produktion optischer Filter in kleinen Serien.