AluMet 1800V
Die AluMet 1800V von Bühler Leybold Optics ist eine sehr wirtschaftliche Chargen-Verdampfungsmaschine mit hohem Durchsatz für die Dünnschicht-Vakuumbeschichtung dreidimensionaler Bauteile. Ihre zweischalige Konfiguration mit zwei Türen ermöglicht eine hochproduktive Verarbeitung, für die sich an jeder Tür sechs planetenradförmige Substrathalter befinden. Jeder einzelne Substrathalter verfügt über eine Tragfähigkeit von bis zu 35 kg, ist effektiv 1500 mm lang und hat einen nutzbaren Durchmesser von 540 mm. Die Doppeltür-Konstruktion ermöglicht einen äusserst effizienten Betrieb, da das Be- und Entladen an einer Tür parallel zur Verarbeitung an der anderen Tür möglich ist.
Hohe Produktivität durch eine grosse Tragfähigkeit und kurze Zykluszeiten
Die hochmoderne und intuitive Bedieneroberfläche der AluMet 1800V und ihre vollautomatische Prozesssteuerung sorgen konsequent für einen hohen Durchsatz mit perfekten Ergebnissen. Die hocheffiziente Verarbeitung wird zudem durch das Doppeltür-Konzept mit sechs Substrathaltern pro Tür unterstützt. Mit einem Beschichtungsbereich von bis zu 15 m² pro Charge steht die AluMet 1800V für eine ausserordentlich hohe Produktivität.
Das leistungsstarke Vakuumpumpensystem, die hocheffizienten thermischen Verdampfer und die Hochleistungs-PECVD-Quellen (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) sind der Schlüssel zu kurzen Zykluszeiten. Die AluMet 1800V ist beispielsweise in der Lage, in ca. 20 Minuten eine hochreflektierende Aluminium-Schicht und eine schützende Deckschicht auf einen typischen Fahrzeuglampen-Reflektor aufzubringen.