SiBrickScan (SBS) ist ein dediziertes produktionsnahes ("at-line") System für die FT-IR basierte Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in kompletten Silizium-Ingots. Das Ergebnis ist ein Konzentrationsprofil entlang der Längsachse des Ingots. Der Zugang zu dieser Information, ohne die Notwendigkeit, Testproben oder Wafer zu präparieren, stellt einen signifikanten und kostensparenden Vorteil dar: qualifizieren Sie individuelle Ingots vor dem Sägen.
Einzigartige SBS Merkmale:
• Höchste Messempfindlichkeit mit erreichbarer Sauerstoff Nachweisgrenze < 2 ppma
• Hochwertige Kalibration, direkt verknüpft mit ASTM/SEMI 1188
• Für quaderförmige oder zylindrische Ingots mit unterschiedlichen Durchmessern
• Innovativer Strahlengang mit hoher Messempfindlichkeit und integrierter Referenzprobe
• Intuitive und komfortable Bediensoftware
• Automatische Datenauswertung
• Industriekompatibles und robustes Design mit präzisem Lineartrieb
• Infrarotdetektor ohne flüssig Stickstoff-Kühlung