Das kryogene Silizium-Analysesystem (CryoSAS) von Bruker Optics ist ein dediziertes Komplettsystem für die Verunreinigungsanalyse an Silizium bei tiefen Temperaturen (<15K). CryoSAS ist optimiert für den Einsatz im industriellen Umfeld.
CryoSAS vereint die Leistungsfähigkeit von Bruker FT-IR-Spektrometern mit integrierter "closed cycle" Technik, die das Abkühlen der Proben und des Detektors ohne flüssiges Helium ermöglicht. Alle CryoSAS-Komponenten sind auf dem neuesten Stand der Technik und basieren auf bewährten Technologien, die eine anspruchsvolle Analytik im Umfeld der Siliziumproduktion ermöglichen. CryoSAS verfügt über ein hohes Maß an Automation einschließlich der automatischen Erstellung des Analysereports.