3D-Profilometer Dektak XTL

mit StylusIndustrie

DMS-fähiger QA/QC-Profiler für optimale 300-mm-Leistung Dektak XTL Das Dektak XTL™ Tasterprofilometer eignet sich für Proben mit einer Größe von bis zu 350 mm x 350 mm und bietet die legendäre Dektak®-Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für die großformatige Wafer- und Panelherstellung. Das Dektak XTL verfügt über eine pneumatische Schwingungsisolierung und eine vollständig geschlossene Arbeitsstation mit einer leicht zugänglichen, verriegelbaren Tür, wodurch es sich ideal für die anspruchsvollen Produktionsumgebungen von heute eignet. Seine Dual-Kamera-Architektur ermöglicht ein verbessertes räumliches Bewusstsein, und sein hoher Automatisierungsgrad maximiert den Produktionsdurchsatz. Robuste automatisierung von Einrichtung und Betrieb Programmiert Referenzpunkte und unbegrenzte Messstellen, um den Durchsatz zu maximieren und Fehler zu minimieren. Zwei kamerasteuerung Vereinfacht die Einrichtung von Messungen und die Navigation zu interessanten Punkten. MERKMALE Die beste Automatisierungs- und Analysesoftware der Branche Verbesserte Softwarefunktionen machen den Dektak XTL zum leistungsstärksten und am einfachsten zu bedienenden Tastschnittgerät auf dem Markt. Das System verwendet die Vision64-Software, die eine unbegrenzte Anzahl von Messstellen, 3D-Mapping und eine hochgradig individuelle Charakterisierung mit Hunderten von integrierten Analysetools ermöglicht. Die Vision Microform-Software misst auch Formen, wie z. B. den Krümmungsradius. Durch die Mustererkennung werden Bedienerfehler minimiert und die Genauigkeit der Messstelle verbessert. Das All-in-One-Softwarepaket kombiniert Datenerfassung und -analyse mit einem intuitiven Arbeitsablauf.