MEMS-Vibrationsgeschwindigkeitssensor VSI-101

Winzige Formfaktor-MEMS-Sensoren sind in der Industrie nicht neu und werden typischerweise mit großvolumigen und kostengünstigen Anwendungen in Verbindung gebracht, wie z. B. Automobil-Airbags oder die automatische Display-Rotation bei Mobiltelefonen. Sie erfüllen ihren Zweck gut und führen während ihres gesamten Lebenszyklus grundlegende Funktionen aus. Sie sind jedoch nicht gut geeignet für den Einsatz bei Vibrationsmessungen mit hoher Leistung und starker Beanspruchung, die normalerweise mit zustandsbasierter Wartung, vorausschauender Wartung, Anlagenzustandsüberwachung und struktureller Condition Monitoring verbunden sind. Bis jetzt. Wir betreten die Welt von MEMS 2.0. Fortschritte in der Halbleiterverarbeitungstechnologie haben zur Entwicklung von hochentwickelten Sensoren auf MEMS-Basis geführt. Diese verwenden Materialien, die perfekt für extremere Messungen geeignet sind, die normalerweise mit Tauchspulen- und Piezostapel-basierten Sensoren verbunden sind und sogar darüber hinausgehen.