Thermischer Massen-Durchflussmesser GF80

Massenfür GasEdelstahl

Die Serie GF80 der metallgedichteten thermischen Massendurchflussregler MFCs für höchste Leistungsfähigkeit und Wirtschaftlichkeit Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als auch die Wirtschaftlichkeit ausschlaggebend. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF80 liefern Ihnen beides. Die zuverlässigen Durchflussmesser sind mit einem schnell-ansprechenden Sensor und der patentierten MultiFlo™ Technologie ausgestattet. Für Sie bedeutet das: Höchste Leistung zu einem fairen Preis. Da keine Sauerstoffpermeation nötig ist, bestehen keine Einschränkungen für die verwendbaren Gase. Durch die Elastomere ist zudem eine verbesserte Gasreinheit gegeben. Die Metalldichtungen sind sehr stabil, sodass sich der Wartungsaufwand stark reduziert. Merkmale • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr • Einschwingzeiten <1 Sekunde • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm • Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten. • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen • Beste Temperaturkoeffizient-Spezifikation seiner Klasse dank aktiver Temperaturkompensation • Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss • Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport • DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen