Setzen Sie neue Maßstäbe mit den Pirani-Messwertgebern der Serie VersaTorr BVT200/225. Es handelt sich um eine All-in-One-Lösung zur Messung eines großen Messbereichs für eine Vielzahl von Vakuumanwendungen. Es unterscheidet sich von allen anderen Vakuummessgeräten durch eine kostengünstige gasunabhängige Messung von 5,0E-3 bis 1333 mbar in Kombination mit einer Messung bis zu 1E-6 mbar nach dem Wärmeverlustprinzip.
Bei Vakuumanwendungen, bei denen sich die Gaszusammensetzung oder -art ändern kann, führen herkömmliche gasabhängige Pirani-Messgeräte zu Messabweichungen vom tatsächlichen Druck. Der Tri-Sensor-Messumformer verwendet einen Präzisionssensor mit kapazitiver Membran (CDG), der die Gasabhängigkeit eliminiert und auch bei veränderten Gaseigenschaften genaue Messungen liefert.
Der integrierte MEMS-Pirani-Wärmeverlustsensor erweitert den Messbereich auf bis zu 1E-6 mbar und bietet eine neuartige automatische Nullpunktjustierung des Kapazitätsmanometers, die die übliche manuelle Nullpunktjustierung herkömmlicher Kapazitätsmembranmanometer überflüssig macht.
Merkmale und Vorteile
Ultraweiter Messbereich von 9 Dekaden
Kapazitätsmembran sorgt für erhöhte Genauigkeit bei 0,5 % im Niedervakuumbereich
6 Jahrzehnte gasunabhängige Messung von 5E-3 bis 1333 mbar
Automatischer Nullabgleich des Kapazitätsmanometers
Vakuumtemperatursensor für Diagnosezwecke
Anwendungen
Lastschleusen
Transferkammern
Vorlaufleitungen
Vakuum-Schrupplinien
Dünnschicht-Verarbeitung
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