Thermischer Massen-Durchflussmesser 9861

Massenfür GasEdelstahl

hochtemperatur-Massendurchflussregler (MFCs) und -messgeräte sind für die Steuerung und Messung des Massendurchflusses von Dämpfen aus flüssigen oder festen Quellen konzipiert, um die zunehmende Verwendung dieser Vorprodukte in Halbleiterherstellungsprozessen zu unterstützen. Das Durchflussmodul des GF120xHT kann in Betriebsumgebungen von bis zu 150 °C eingesetzt werden. Um diesen Temperaturbereich zu unterstützen, ist die Elektronik vom Rest des Geräts abgesetzt und an einem Ort mit niedrigerer Temperatur (max. 50°C) montiert. Die abgesetzte Elektronik kann nach DIN montiert werden, wobei drei verschiedene Kabellängen zur Auswahl stehen: 3 Fuß, 8 Fuß und 16,5 Fuß Standard. Die große Auswahl an Kommunikationsprotokollen und Montageoptionen machen den GF120xHT zu einer idealen Wahl für Prozessanlagen der nächsten Generation und zur Aufrüstung älterer beheizter MFCs. Merkmale Entwickelt für Hochtemperaturanwendungen bis zu 150°C Komfortabler Serviceanschluss ermöglicht den Zugriff auf Diagnosen über eine benutzerfreundliche Schnittstelle Korrosionsbeständiger Hastelloy-Sensor Kalibriert auf die Prozessbedingungen des Kunden Vorteile Unterstützt Anwendungen mit Temperaturen bis zu 150°C für die Zufuhr von flüssigen Precursor-Dämpfen Benutzerfreundliche Diagnoseschnittstelle unterstützt Prozessingenieure bei der Sicherstellung, dass der MFC innerhalb der spezifizierten Grenzwerte für hohe Erträge und maximale Betriebszeit arbeitet Bietet unübertroffene Langzeitstabilität des Sensors für maximalen Durchsatz und Ausbeute Kalibriert bei Betriebstemperatur und -druck des Kunden für optimale Leistung