Kapazitätsmesser CMC

Hochreiner Strömungsweg für hohe Wiederholbarkeit und Stabilität ie Kapazitätsmanometer der Serie CMC von Brooks Instrument liefern Ihnen zuverlässige und genaue Vakuummesswerte über einen weiten Betriebstemperaturbereich. Dank kompakter Bauform und hoher Leistungsfähigkeit können Sie Ihre vorhandenen Geräte einfach nachrüsten, wenn ein kleinformatiges Vakuummessgerät erforderlich ist. Die verschweißte Ganzmetallausführung und die medienberührten Flächen aus Inconel® garantieren Ihnen auch bei aggressiven Prozessen einen zuverlässigen und wiederholbaren Betrieb. Kapazitätsmanometer der Serie CMC kombinieren Präzisionskomponenten mit einem breiten temperaturkompensierten Betriebsbereich. So erhalten Sie optimale Messstabilität und die besten Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse. Merkmale • Für Prozessbereiche von 10 Torr bis 1000 Torr (1,33 mBar bis 133 mBar) • Zwei Genauigkeitsstufen: 0,25 % oder 0,50 % des Messwerts • Herausragende Leistung über einen breiten Betriebstemperaturbereich • 40 % kleiner als herkömmliche nicht beheizte Kapazitätsmanometer • verschweißte Ganzmetallausführung und medienberührte Flächen aus Inconel® Ihre Vorteile • Hochpräzise Kalibrierung • Beste Nullpunkt- und Endwert-Temperaturkoeffizienten dieser Klasse • Kompaktes Design • Optimale Messwertwiederholbarkeit Für welche Aufgaben Kapazitätsmanometer der CMC Serie eingesetzt werden: Halbleiterfertigung Dünnschichtabscheidungsprozesse – Glas-, Gewebe- und optische Beschichtungen Gefriertrocknung leichtverderblicher Materialien Hightech-Beschichtungen medizinischer Instrumente (chirurgische Instrumente, Zahnbohrer)