Gasdruckcontroller PC series

DurchflussPräzision

Ob Halbleiterfertigung oder Dampfabscheidung: Die Druckregler und -messgeräte der Serie PC100 liefern Ihnen auch in ultrapräzisen Fertigungsprozessen genaue und zuverlässige Druckregelwerte. Die Serie PC100 basiert auf der Technologie des Massendurchflussreglers GF100. Sie profitieren von einem hochreinen, vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg und einer speziell auf die Vermeidung von Sensordrift ausgelegten Sensortechnologie. Außerdem sind Druckregler der Serie PC100 mit modernsten Diagnosefähigkeiten ausgestattet. Diese erleichtern Ihnen die Geräteevaluation und Fehlerbehebung wesentlich. So minimieren Sie Ihren Wartungsaufwand und steigern die Verfügbarkeit Ihrer Geräte. Merkmale • Ansprechzeit: <1 Sekunde • Endwertdurchflussraten bis zu 10 sl/min • Transmitterdruckbereich: 1000 torr Endwert • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Oberflächenrauigkeit Ra 0,13 µm • Durchflusssensor aus hoch korrosionsbeständigem Hastelloy® C22 • ARM-Highspeed-Prozessor • Schnell reagierende, membranlose Ventileinheit • Benutzerfreundliches LCD-Display mit leicht zugänglichem Taster zur lokalen Anzeige von Durchfluss, Temperatur und Netzwerkadresse • Unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss • DeviceNet™ Protokoll Ihre Vorteile Hochleistungskomponenten ermöglichen ein schnelles Ansprechen und eine Einstellzeit für eine verbesserte Druckregelung Reduzierung des Streugasverbrauchs und der damit verbundenen Kosten Korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender und SEMI F20-konformer Strömungsweg mit insgesamt reduzierten Oberflächen und Totvolumen sorgt für schnelleres Abtrocknen während der Spülschritte