Thermischer Massen-Durchflussmesser 5850EM

Massenfür GasInline

Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie 5850EM Bewährte Langzeitstabilität mit den Durchflussmessern 5850EM Die metallgedichteten Massendurchflussregler der Serie 5850EM bieten Ihnen die Stabilität, die Sie zur erfolgreichen Prozessregelung benötigen. Die MFCs dieser Serie werden zur Messung und Regelung von Hochdruckgasdurchflüssen eingesetzt. Dank der metallgedichteten Bauart und elektropolierten medienberührten Flächen profitieren Sie von herausragender Durchflussintegrität und Gesamtprozesseffizienz. Weder eine kontinuierliche Überwachung noch eine Gasdruckanpassung zur Erhaltung eines stabilen Gasdurchflusses sind erforderlich. Merkmale • Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr • Einschwingzeit bei Änderungsbefehlen <3 Sekunden mit vernachlässigbaren Unter- und Überschreitungen • Optional prozessintern verbesserte Oberflächenrauigkeiten - Ra durchschnittlich 0,13 µm • Beliebige Einbaulage • Mechanisch und elektrisch kompatibel mit sonstigen Massedurchflussreglern • TTL-kompatible Ventilübersteuerung (Auf / Zu) zur Spülung und Abschaltung Ihre Vorteile • Verbesserte Gasreinheit und Dichtheit durch einen vollständig aus Metall bestehenden Strömungsweg • Bewährte Langzeitstabilität und -genauigkeit über einen breiten Prozess- und Anwendungsbereich • Exzellente Rendite durch zuverlässige Leistung • Wegfall der kontinuierlichen Gasdrucküberwachung und -anpassung dank des abnehmbaren Durchflusssensors Unkomplizierte Installation und Wartung mit rein anlogen Ein- und Ausgängen In welchen Bereichen Massendurchflussregler der 5850EM Serie zum Einsatz kommen LWL LED/MOCVD Halbleiterproduktion Solar