CS200 MFCs mit fortschrittlicher Sensor- und Temperaturkompensationstechnologie können eine Genauigkeit von ±1%S.P. und einen niedrigen Temperaturkoeffizienten erreichen. Darüber hinaus haben die CS200 MFCs mit dem fortschrittlichen Steuerungssystem eine durchschnittliche Reaktionszeit von 800 ms für alle Sollwertänderungen, wodurch Systemfehler im Prozess minimiert werden.
Merkmale
1. Hohe Genauigkeit und schnelle Reaktion
die Genauigkeit des CS200 MFC wurde auf ±1,0 % des S.P. verbessert, und die modernsten Modelle haben eine reduzierte Reaktionszeit von weniger als 0,8 Sekunden.
2. Geringe Nullpunktdrift und Temperaturkoeffizient
die Erfindung einer neuen Sensortechnologie ermöglicht es dem CS200 MFC, seine Stabilität zu erhalten und Temperaturschwankungen zu widerstehen. Ohne Auto-Zero-Verstärker beträgt die erwartete Nullpunktdrift weniger als 0,6%F.S./Jahr, und der Temperaturkoeffizient ist weniger als 0,02%F.S./℃(Null),0,05%F.S./ ℃ (Spanne).
3. Metall-versiegelte Modelle und hohe Reinheit Eigenschaft
der medienberührte Durchflussweg des CS200 MFC ist aus oberflächenpassiviertem Edelstahl gefertigt. Alle CS200 MFCs werden in Sevenstars ultrareinen Reinräumen der Klasse 100 gemäß den SEMI- und ISO 9001-Normen montiert.
4. Kompatible Schnittstellen
der CS200 MFC ist mit den folgenden Schnittstellen kompatibel, die vom Kunden ausgewählt werden können: ±8V-±16V Doppelend-Stromversorgung und +14V-+28V Einzelend-Stromversorgung; digitaler oder analoger Signaleingang und -ausgang; mechanische Abmessungen nach SEMI-Standard; und RS-485- oder DeviceNet-Kommunikationsmodul.
5. Verschiedene Funktionen
jedes Modell wird standardmäßig mit einer leistungsstarken Kundensoftware geliefert, während zusätzliche Funktionen wie Multigas, Mehrbereich, Auto-Zero, Alarme, Softstart und Verzögerung auf Kundenwunsch erhältlich sind.
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