Poliermaschine für Metall POLI-762

PräzisionDrehtischmechanisch

POLI-762 ist eine kleine 12-Zoll-Chemie-Poliermaschine, die manuell beladen wird, optional mit einer halbautomatischen Ladepalette ausgestattet werden kann, einen Membran-Airbag verwendet, um den Druck flexibel zu erhöhen, und mit einem System zur Überwachung der Reibungskraft und der Temperatur am Endpunkt ausgestattet werden kann. Sie wird für das Planarisierungspolieren von Oxiden, Metallen, STI, SOI, MEMS und anderen Produkten verwendet. Die Anwendungen sind vielfältig. Vollständige Funktionen Setzen Sie Membran Gegendruck auf den Wafer, Polierplatte hat eingebautes Kühlsystem. Schwenkarm Abrichter, Reibung und Temperaturerfassung Endpunkt Überwachungsfunktion und Drucksystem auf verschiedenen Gebieten ist optional. Einfache Bedienung PC-Steuerungssystem, Touchscreen-Steuerung, halbautomatische Ladepalette ist optional, Ein-Knopf-automatische CMP Polieren. Gute Kompatibilität 3 unabhängige Schlammzufuhrleitungen, leicht austauschbare Polierplatte, austauschbarer Polierkopf mit 4, 6, 8 und 12 Zoll, kompatibel mit verschiedenen Größen und Typen von Wafern. Geringe Stellfläche Minimieren Sie die Stellfläche des Reinraums.