Absolutdrucksensor SE102

piezoresistivanalogProzess

Das Modell SE102 ist eine Drucksensormatrize mit hohem Überlastdruck (HOP), d.h. hohem Prüfdruck und hohem Berstdruck, die auf einem piezoresistiven Funktionsprinzip basiert. Die HOP-Sensormatrize wird nach dem 6″ Silikon-Mikrobearbeitungsverfahren hergestellt und verfügt über eine Silizium-auf-Silizium-Struktur. Dank des einzigartigen Designs seiner Druckmembran verfügt der SE102 sowohl über eine hohe Empfindlichkeit als auch über außergewöhnliche Überlastdrücke. Dieses Modell ist für Absolut-, Überdruck- oder Differenzdruckmessungen ausgelegt. Für den Überdruck- oder Differenzdruckbezug stehen zwei Arten von Strukturen zur Verfügung. Die eine ist die Silizium-auf-Silizium-Struktur, d.h. mit der Siliziumbeschränkung, während die andere ohne die Siliziumbeschränkung ist. Als nicht signalkonditionierende Sensormatrize ist der Standard SE102 in einer offenen Brückenschaltung mit fünf Lötpads für die Brückeneinstellung und Temperaturkompensation erhältlich. Vor dem Verpacken wird jede SE102 Sensormatrize einzeln geprüft und nach ihren Spezifikationen qualifiziert. Drei Arten von Verpackungen sind als Option erhältlich, um den unterschiedlichen Marketinganforderungen gerecht zu werden.